ЗАВОД ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Г. ЗАПОРОЖЬЕ


Технологический корпус 101
площадь 12337 кв.м.
получение поликристаллического кремния в реакторах
водородного восстановления
Оборудование в специальном
коррозионностойком исполнении, с защитой от
трихлорсилана и хлористого водорода:
Центральные секционные кондиционеры
и приточные камеры:
- 20 шт. Общая производительность по воздуху 470000 м3/ч
- Технологический корпус 104
площадь 23000 кв.м.
Помещения высокого класса чистоты (1000, 10000)
первичная обработка поликристаллического кремния,
дробление, фасовка, упаковка.
Оборудование в специальном
коррозионностойком исполнении, с защитой от
трихлорсилана и хлористого водорода:
Центральные секционные
кондиционеры и приточные камеры:
- 42 шт. Общая производительность
по воздуху 1 260 000 м3/ч